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WAFER LINE是SOI、貼合晶圓等的晶圓檢查專用機
根據您的要求，機器人自動搬運、自動測定、自動判定，可全自動工作。
已經積累了在多個客戶的量產線上連續運轉的實際業績，獲得了高度的評價。
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4～8英寸用WAFER LINE
（支持晶圓盒）
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特點、規格:
根據您的要求，還可制作以下規格的裝置。
· 半導體前工序的生產線設置用
裝置內處理室清潔度3級(ISO)以上（在潔凈室內組裝裝置）
SUS箱體、支持FOUP
· 高速檢查
與具有相同分辨率的單焦點探頭設備相比，電子掃描式陣列探頭設備可以做到高速顯示。
（機械部分的運動少，也有助于保持清潔度）